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真空镀膜膜层厚度测量方法有这几种

2019-07-22

 真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

 在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?

 下面我们就来详细的介绍一下。

广东快乐十分网 最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。

 只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的 度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。

广东快乐十分网 此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。

 光学监控是高精密镀膜的的 监控方式,这是因为它可以更 地控制膜层厚度(如果运用得当)。

  度的改进源于很多因素,但最根本的原因是对光学厚度的监控。

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